成果简介
密集波分复用技术在光纤通信的迅猛发展中起了重要作用，可变光衰减器是密集波分复用系统中的关键器件之一，具有均衡光功率的作用，其重要性日益凸显。本成果研制基于SOI的热光反射型可变光衰减器阵列，它由单模波导、渐变taper型波导、多模波导和调制电极，整个器件集成在SOI衬底上。采用热光反射型调制方式在原理上具有对波长不敏感的特性，可以在较宽的带宽范围内实现衰减；采用半导体的光刻和刻蚀工艺，可以精确控制波导形貌，提高器件综合性能；采用SOI衬底，使得器件易于和其他光通信器件实现混合集成。
研究团队
电子科学与工程学院董玮教授课题组。
成果成熟度
小试阶段。
应用领域及市场前景
SOI光波导可变光衰减器具有简单的结构以及高可靠性，并利于高度集成，能满足未来光通信的需求，随着技术的发展和成熟，越来越多的被关注。本成果主要目的就是制作出结构简单，可靠性高的基于SOI的热光反射型可变光衰减器阵列，对推进我国光通信无源器件技术的发展做出贡献。
合作方式
合作开发、技术入股。
